Патенты автора Чернов Валерий Валерьевич (RU)
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ НА НИХ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ // 2471886
Изобретение относится к начальной стадии технологии осаждения алмазных пленок и может быть использовано для подготовки плоских подложек из различных материалов для дальнейшего осаждения на них однородных нанокристаллических алмазных пленок
