Патенты автора Вишняков Геннадий Николаевич (RU)
Сдвиговый спекл-интерферометр (варианты) // 2726045
Изобретение относится к области оптико-электронных измерений, а именно к сдвиговой спекл-интерферометрии, и может быть использовано для обнаружения и измерения параметров дефектов различных диффузно-отражающих объектов. Заявленный сдвиговый спекл-интерферометр содержит камеру регистрации, источник лазерного излучения и фокусирующий элемент в виде квадролинзы с диафрагмой. Диафрагма выполнена в виде непрозрачного экрана с четырьмя нецентральными отверстиями, зеркально расположенными относительно двух перпендикулярных осей симметрии, пересекающихся в центре экрана на оптической оси интерферометра. Квадролинза может быть образована четырьмя одинаковыми секторами исходной круглой линзы, разнесенными друг от друга с образованием равномерных зазоров, параллельных указанным осям симметрии. В другом варианте квадролинза образована путем совмещения четырех одинаковых секторов, оставшихся после удаления из исходной круглой линзы диаметральных участков, параллельных указанным осям симметрии. Технический результат - повышение точности проводимых измерений. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 1 табл., 6 ил.
Изобретение относится к области оптико-электронных измерительных приборов и предназначено для получения информации о двумерном распределении высот микрорельефа поверхностей, которые применяются в оптическом приборостроении, микроэлектронике и материаловедении. Установка для измерения микрорельефа поверхности с использованием метода фазовых шагов содержит виброзащитную опору, предметный столик, осветитель с коллиматором, цифровую видеокамеру и интерференционный микроскоп, выполненный по схеме Линника. Устройство снабжено сменными микрообъективами. Предметный столик выполнен подвижным и расположен под микрообъективом объектного канала. Осветитель выполнен в виде точечного низкокогерентного светодиода. Опорное зеркало референтного канала выполнено на базе моноатомного слоя кремния. Опорное зеркало жестко связано с микрообъективом референтного канала в едином блоке, который перемещается посредством пьезопривода с обратной связью. Настройка микроскопа производится по базовой плоскости. Технический результат – возможность получения значения высоты профиля и шероховатости профиля в субнанометровом диапазоне с большей точностью, а также расширение диапазона измерений и повышение стабильности показаний при длительных измерениях. 4 ил.
ФАЗОВО-ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МОДУЛЬ // 2539747
Изобретение относится к микроскопии и может быть использовано в биологии, медицине, оптическом приборостроении. Техническая задача, решаемая настоящим изобретением, состоит в уменьшении фазовых искажений, повышении линейности фазового сдвига и повышении точности измерений. Фазово-интерференционный модуль содержит микроскоп для формирования увеличенного изображения микрообъекта в задней фокальной плоскости этого микроскопа, 4f оптическую систему из двух фурье-объективов, передняя фокальная плоскость которой совпадает с задней фокальной плоскостью микроскопа. В задней фокальной плоскости 4f оптической системы располагается регистратор выходного изображения. Внутри 4f оптической системы до общей фокальной плоскости располагается светоделитель. В общей фокальной плоскости 4f оптической системы размещен фазовый пространственный фильтр Цернике, работающий на отражение, выполненный в виде плоского зеркала, состоящего из неподвижной плоской зеркальной детали с узким отверстием в центре и подвижной плоской зеркальной детали, установленной в этом отверстии с возможностью перемещения в направлении нормали к поверхности неподвижной детали. Центр подвижной плоской зеркальной детали совпадает с оптической осью 4f оптической системы. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
СПОСОБ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ МИКРОСКОПИИ // 2536764
Изобретение относится к микроскопии и может быть использовано в биологии, медицине, машиностроении, оптическом приборостроении для исследования фазовых объектов. Технический результат - уменьшение уровня когерентных шумов, снижение требований к юстировке интерферометра, повышение стабильности результатов измерений, повышение точности измерений. Согласно способу интерференционной микроскопии исследуемый микрообъект освещают некогерентным излучением, которое используют для формирования увеличенного изображения микрообъекта в передней фокальной плоскости 4f оптической системы, делят излучение с помощью светоделителя из двух идентичных призм Дове, склеенных по основаниям призм, и направляют оба пучка на одно плоское зеркало. Пучок, который прошел через обе призмы Дове, пропускают через точечную диафрагму. После обратного прохода через светоделитель оба пучка излучения направляют на уголковый отражатель и регистрируют исходное интерференционное изображение, а затем многократно смещают светоделитель и уголковый отражатель вдоль направления, перпендикулярного основаниям призм. При этом изменяется фаза интерференционных изображений по отношению к исходному и регистрируется набор интерференционных изображений, по которому методом фазовых шагов вычисляют двумерное распределение оптической разности хода излучения, прошедшего через микрообъект. 2 з.п. ф-лы, 6 ил.
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП // 2527316
Изобретение относится к микроскопии и может быть использовано в биологии, медицине, машиностроении, оптическом приборостроении. Интерференционный микроскоп содержит микроскоп светлого поля для формирования увеличенного изображения объекта в задней фокальной плоскости, 4f оптическую систему из двух фурье-объективов, передняя фокальная плоскость которой совпадает с задней фокальной плоскостью микроскопа светлого поля. В задней фокальной плоскости 4f оптической системы располагается регистратор выходного изображения. Внутри 4f оптической системы до общей фокальной плоскости располагается светоделитель, формирующий два пространственно разделенных световых пучка, сходящихся в общей фокальной плоскости 4f оптической системы, где размещены два плоских зеркала перпендикулярно оптической оси каждого из пучков. Эти зеркала отражают падающее на них излучение в обратном направлении, а перед одним из зеркал располагается точечная диафрагма, которая пропускает только нерассеяное излучение и формирует опорный пучок. Светоделитель формирует два параллельных пространственно разделенных световых пучка с нулевой разностью хода, а отражающие поверхности плоских зеркал лежат в одной плоскости. Технический результат - повышение точности измерений. 5 з.п. ф-лы, 5 ил.
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к профилометрии, топографии
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к профилометрии, топографии
