FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Боровков Вадим Александрович (RU)
СПОСОБ КАТАЛИТИЧЕСКОГО ГИДРИРОВАНИЯ ТЕТРАХЛОРИДА КРЕМНИЯ
// 2472704
Изобретение относится к получению кремнийсодержащих материалов, которые используются в процессах получения полупроводникового кремния