Патенты автора ФИАККАБРИНО Жан-Шарль (CH)
Изобретение относится к способу изготовления многослойной металлической структуры с помощью ультрафиолетовой литографии и гальванического осаждения. Согласно способу проводящую поверхность подложки покрывают первым слоем фоточувствительной смолы и обрабатывают с помощью излучения через маску, которая согласуется с требуемой фасонной выемкой. В результате проявления первого слоя получают первый уровень формы из смолы с отверстиями, которые открывают проводящую поверхность подложки. Далее осаждают новый слой фоточувствительной смолы сверху проявленного. Новый слой также обрабатывают с помощью излучения через маску, которая согласуется с требуемой фасонной выемкой. В результате проявления нового слоя получают многоуровневую форму из смолы с отверстиями, которые открывают проводящую поверхность подложки. В отверстия многоуровневой формы производят гальваническое осаждение металла или сплава. Подложку отделяют и удаляют слои смолы для открывания многослойной металлической структуры, образованной вышеуказанным металлом или сплавом, полученным посредством осаждения в отверстия. Технический результат - обеспечение оптимальной регуляции температуры и продолжительности термообработки. 8 з.п. ф-лы, 13 ил.
Изобретение относится к области гальванопластики и может быть использовано для изготовления деталей с биметаллической микроструктурой
СОСТАВНОЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ КОМПОНЕНТ ИЗ КРЕМНИЯ С МЕТАЛЛОМ И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОМПОНЕНТА // 2474532
Изобретение относится к способу изготовления составного микромеханического компонента, сочетающему процессы глубокого реактивного ионного травления и литографии, гальванопластики и формования
