Патенты автора Цимбалов Андрей Сергеевич (RU)

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛОКАЛЬНЫХ НИЗКООМНЫХ ОБЛАСТЕЙ СИЛИЦИДА ТИТАНА В ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМАХ // 2474919

Изобретение относится к технологии изготовления интегральных схем на основе комплементарных транзисторов со структурой металл - окисел - полупроводник (КМОП ИС)