Патенты автора Степанчиков С.В.
Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к платформам-дозаторам
Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к элементам вакуумных и чистых технологических систем, и может найти применение для ввода объектов в камеру с чистой технологической средой или извлечения из нее без нарушения среды
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме или "чистых" технологических средах, а именно к шлюзовым устройствам
Изобретение относится к нанесению тонких диэлектрических пленок путем ионного распыления материала в вакууме
Изобретение относится к технологическому оборудованию для вакуумного напыления, в частности к устройствам для испарения материалов в вакууме
Изобретение относится к области технологической обработки подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме
Изобретение относится к области технологической обработки подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме
Изобретение относится к разработке и эксплуатации рабочих объемов с заданным технологическим микроклиматом, а более конкретно, к способам реализации технологического микроклимата в рабочем объеме в условиях молекулярного течения газа
Изобретение относится к машиностроению, а более конкретно, к устройствам пьезоприводов, работающих в вакууме или экологически чистых средах
Изобретение относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам управления динамической системой
Изобретение относится к области технологической обработки материалов в вакууме, а более конкретно к способам напуска газа в вакуумную камеру
Изобретение относится к установкам для нанесения покрытия в вакууме
Изобретение относится к области наноэлектроники, а более конкретно к способам получения нанотрубок
Изобретение относится к области машиностроения, в частности к устройствам для прецизионного перемещения изделий в нанотехнологии
Изобретение относится к электронике, а более конкретно к способам получения ионного луча
Изобретение относится к области электроники, а именно к способам получения электронного пучка
Изобретение относится к строительной технике, а более конкретно к строительным материалам
Изобретение относится к области строительной техники, а более конкретно к штукатурным материалам
Изобретение относится к области машиностроения
Изобретение относится к области строительной техники, а более конкретно к материалам из вермикулита
Изобретение относится к сельскому хозяйству, а именно к материалам для тепличных хозяйств и садово-огородных товариществ
Изобретение относится к строительным технологиям, а более конкретно - к способу изготовления вермикулитового строительного материала
Изобретение относится к области машиностроения, а более конкретно - к подшипниковым узлам
Изобретение относится к машиностроению, а более конкретно к устройствам гашения колебаний
Изобретение относится к разработке и эксплуатации бурых углей, а более конкретно к способам транспортировки упакованных брикетов бурых углей путем укладки их в контейнер
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам разности давлений
Изобретение относится к области разработки и эксплуатации
Изобретение относится к области машиностроения, а более конкретно, к исполнительным органам вакуумных манипуляторов
Изобретение относится к разработке и эксплуатации бурых углей, а более конкретно к способам брикетирования бурых углей
Изобретение относится к области разработки и эксплуатации бурых углей, а более конкретно к способам транспортирования мелкодисперсного бурого угля и угольной пыли
