Патенты автора Буравцева Г.И.

Изобретение относится к способам очистки фторхлоруглеродных жидкостей и может быть использовано в технологии микроэлектроники для регенерации отработанных перфторполиэфиров или теломеров трифторхлорэтилена, применяемых в качестве вакуумных масел откачных насосов в процессах плазмохимического травления (ПХТ) тонких слоев

Изобретение относится к составам послойных многокомпонентных поглотителей, используемых для очистки газов сложного состава, в частности для очистки газовых смесей, содержащих хлор, хлористый водород, фосген и оксид углерода, и может быть использовано для санитарной очистки отходящих газов в процессах реактивно-ионного и плазмохимического травления в среде органических и неорганических хлоридов

Изобретение относится к области технологии получения йода из буровых вод

 


Service Desk для клининга
Наверх