Патенты автора Печенкин С.А.
Изобретение относится к импульсной и ускорительной технике и может быть использовано для генерации сильноточных ионных и электронных пучков
Изобретение относится к разделу технической физики и может быть использовано при имплантации ионов в различные материалы в технологии изготовления полупроводниковых приборов, например детекторов излучения, светодиодов, интегральных схем, а также для нанесения защитных покрытий на материалы и изделия
Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения угла расходимости и смещения как легких, так и тяжелых ионов в сильноточном нано- и микросекундном ионном пучке, определения центров эмиссии и расширения скорости эмиссионной поверхности