Изобретение относится к измерительной технике и средствам воздействия на органические и неорганические материалы и может быть использовано в различных областях науки и техники от обработки деталей в микромеханике и микроэлектронике до фотолитографии, медицины, химии, биотехнологии и генной инженерии