Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам, позволяющим измерять рельеф поверхности, и может быть использовано для контроля качества обработки поверхности, контроля однородности тонких пленок, измерения толщины тонких пленок, исследования неоднородяостей показателя преломления