Патенты автора Айрапетов Алексей Александрович (RU)

Изобретение относится к cпособу удаления углеродсодержащих слоев и пыли из вакуумных камер плазменных установок. При взаимодействии с плазмой в процессе работы установки боро-углеродные покрытия эродируют. Продукты эрозии осаждаются на контактирующих с плазмой поверхностях и образуют переосажденные боро-углеродные слои и мелкодисперсную боро-углеродную пыль. Изобретение может быть использовано для регулярного удаления мелкодисперсной пыли и переосажденных боро-углеродных слоев, что необходимо для успешной работы установок. В изобретении обеспечиваются условия для прохождения гетерогенной реакции материала слоя или пыли с парами спирта с образованием летучего эфира и удаления газообразных продуктов реакции и непрореагировавших реагентов посредством откачки. Техническим результатом является газификация боросодержащих слоев и возможность удаления газообразных продуктов реакции посредством откачки. 4 з.п. ф-лы, 2 пр.

Изобретение относится к области генерации потоков атомов водорода с тепловыми скоростями для возможности облучения изделий равномерным по плотности потоком с целью исследования параметров, закономерностей и механизмов взаимодействия атомов водорода с материалами, а также для решения прикладных задач, в частности, определения скорости и характера наводороживания материалов при облучении потоком атомов водорода с тепловыми скоростями

 


Наверх