Патенты автора Шигин Павел Анатольевич (RU)
Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий на изделия и может быть использовано для вакуумно-плазменной обработки изделий, в том числе оснастки, инструмента и деталей в машиностроении, деревообработке, теплоэнергетике, приборостроении и других областях. Техническим результатом изобретения является расширение функциональных возможностей устройства за счет создания условий для нанесения многокомпонентных (однофазных или многофазных) и/или многослойных покрытий, а также переходных слоев на обрабатываемые изделия. Камера источника ионов устройства сформирована двумя коаксиальными цилиндрами, ограниченными с одной стороны кольцевым участком стенки вакуумной камеры, а с другой стороны - прикрепленной через изоляторы к коаксиальным цилиндрам кольцевой пластиной, выполняющей роль анода источника ионов и имеющей по меньшей мере одно кольцевое щелевое отверстие, соосное с цилиндрическими стенками камеры источника ионов. Мишень расположена вне камеры источника ионов и закреплена параллельно аноду соосно с кольцевым отверстием. Держатель обрабатываемого изделия имеет цилиндрическую форму и установлен внутри меньшего из цилиндров камеры источника ионов вдоль оси источника ионов. На торце держателя обрабатываемых изделий закреплен узел фиксации обрабатываемых изделий, расположенный на уровне анода и параллельно ему. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.
Изобретение относится к области генерации потоков атомов водорода с тепловыми скоростями для возможности облучения изделий равномерным по плотности потоком с целью исследования параметров, закономерностей и механизмов взаимодействия атомов водорода с материалами, а также для решения прикладных задач, в частности, определения скорости и характера наводороживания материалов при облучении потоком атомов водорода с тепловыми скоростями
