Патенты автора Разин Сергей Владимирович (RU)
Изобретение относится к области формирования непрерывных сильноточных пучков ионов путем их экстракции из плотной плазмы ЭЦР разряда, создаваемой в открытой магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн. Устройство содержит магнитную систему для создания магнитного поля пробочной конфигурации с напряженностью, достаточной для возникновения внутри разрядной вакуумной камеры ЭЦР зон, систему формирования и экстракции пучка ионов из плазмы, содержащую плазменный электрод и ускоряющий электрод и, по крайней мере, два дополнительных электрода, расположенных после ускоряющего электрода один за другим: фокусирующий электрод, находящийся под тем же потенциалом, что и плазменный электрод, а затем выходной электрод, находящийся, также как и ускоряющий электрод, под земляным потенциалом. Технический результат - возможность формировать качественный сильноточный пучок ионов с малой величиной эмиттанса и минимальным углом расхождения в условиях непрерывной работы источника. 2 ил.
Изобретение относится к устройству получения нейтронов и может быть использовано, как в фундаментальных, так и в прикладных исследованиях: в ядерной физике, спектрометрии, нейтронографии, медицине, системах безопасности, дефектоскопии и т.д. В устройстве используется источник ионов на основе ЭЦР разряда с квазигазодинамическим режимом удержания, плазма в котором поддерживается микроволновым излучением гиротрона миллиметрового диапазона длин волн, и система формирования и ускорения ионов. В результате формируется сильноточный пучок ускоренных ионов дейтерия со среднеквадратичным приведенным эмиттансом не хуже чем 0,05⋅π⋅мм⋅мрад, с поперечным размером в фокальной области меньше миллиметра и протяженностью фокальной области порядка нескольких миллиметров. Отверстие между ускорительной камерой и камерой с газовой мишенью представляет собой канал, размеры которого соответствуют фокальной области проходящего через него вышеописанного пучка. В разработанном устройстве поток нейтронов с дейтерий содержащей мишенью по оценкам превышает уровень 1011 n/с за счет поддержания давления в ускорительной камере на уровне 10-4 Торр и увеличения давления в реакторной камере до нескольких Торр. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение относится к области создания непрерывных пучков ионов путем их экстракции из плотной плазмы, создаваемой в открытой магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн. Технический результат - повышение тока пучков ионов при сохранении заданного среднего заряда ионов. Устройство содержит генератор непрерывного СВЧ излучения с частотой много больше обычно используемых частот, например 28 ГГц. Излучение от генератора последовательно проходит преобразователь моды СВЧ излучения в гауссов пучок, квазиоптическую линию передачи и преобразователь гауссова пучка в моду круглого волновода, которая попадает в разрядную вакуумную камеру. Использование квазиоптической линии передач позволяет электрически изолировать мощный гиротрон от разрядной вакуумной камеры, находящейся под высоким потенциалом (до 100 кВ). 1 ил.
Изобретение относится источнику интенсивных широкоапертурных (до сотен см) потоков плазмы с высокой степенью ионизации с эффективным током сотни ампер. Устройство может быть использовано в сильноточных источниках ионов, в микроэлектронике, ядерной физике и в ряде других плазменных технологий. Для создания плазмы в магнитной ловушке в условиях электронно-циклотронного резонанса используют мощное электромагнитное излучение миллиметрового диапазона длин волн. В источнике потоков плазмы система газонапуска выполнена в виде многоапертурной системы трубок с независимой подачей рабочего газа. Кроме того, введена дополнительная магнитная катушка, ограничивающая поперечный размер разлетающейся из ловушки плазмы. Техническим результатом является возможность регулировать поперечное распределение потока газа и формировать широкоапертурный поток плазмы с необходимой, в том числе плоской, поперечной структурой, что позволяет увеличить плотность газоразрядной плазмы. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение относится к средствам формирования сильноточных пучков ионов путем их экстракции из плотной плазмы ЭЦР разряда, создаваемой в открытой магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн. В источнике пучка ионов система формирования и экстракции пучка ионов из плазмы выполнена автономной, обеспечивает перемещения плазменного и ускоряющего электродов друг относительно друга и относительно магнитной системы. Также в систему формирования и экстракции пучка добавлена система юстировки, обеспечивающая возможность вращения оси плазменного и ускоряющего электродов относительно оси системы и обеспечивающая соосность электродов между собой и разрядной вакуумной камерой. Техническим результатом является возможность формирования из плотной плазмы пучков ионов с током до долей ампера и величиной эмиттанса до 0,01 π мм⋅мрад в нормализованных единицах, а также возможность регулировать плотность потока плазмы, попадающей на экстрактор, не меняя при этом параметры источника плазмы. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение относится к области формирования сильноточного пучка ионов путем его экстракции из плотной плазмы ЭЦР разряда, создаваемой в открытой магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн. Разработанное устройство может обеспечивать эффективную экстракцию ионов из плотной плазмы ЭЦР разряда и формирование сильноточных пучков ионов с низким эмиттансом и одновременно может обеспечивать переход в режим улучшенного удержания плазмы в ловушке с подавлением поперечного переноса плазмы, вызванного желобковой неустойчивостью. Разработанный источник ионов позволяет формировать из плотной плазмы пучки ионов с током до долей ампера и величиной эмиттанса вплоть до 0,01 π мм⋅мрад в нормализованных единицах. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение относится к области формирования сильноточных пучков ионов путем их экстракции из плотной плазмы ЭЦР разряда, создаваемой в открытой магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн. Сильноточный источник пучков ионов на основе плазмы электронно-циклотронного резонансного разряда, удерживаемой в открытой магнитной ловушке, содержит магнитную систему для создания магнитного поля пробочной конфигурации с напряженностью, достаточной для возникновения внутри разрядной вакуумной камеры ЭЦР зон, систему формирования и экстракции пучка ионов из плазмы, содержащую плазменный электрод и ускоряющий электрод. На выходе ускоряющего электрода расположена магнитная ионная линза в виде соленоида, магнитное поле которой подобрано таким образом, что ее фокусное расстояние равно расстоянию от линзы до отверстия в ускоряющем электроде. Технический результат - возможность формирования сильноточных пучков ионов с низким эмиттансом и минимальным углом расхождения. 1 ил.
Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается устройства получения направленного экстремального ультрафиолетового излучения с длиной волны 11.2 нм ±1% для проекционной литографии высокого разрешения. Устройство включает в себя гиротрон, генерирующий пучок излучения терагерцевого диапазона, систему ввода излучения в вакуумную камеру, систему квазиоптических зеркал, фокусирующую излучение в область неоднородного расширяющегося потока ксенона, создаваемого системой газонапуска при сверхзвуковом истечении ксенона в вакуум, с характерным поперечным размером меньше миллиметра, расположенную в фокусе многослойного рентгеновского зеркала нормального падения, формирующего направленное экстремальное ультрафиолетовое излучение от возникающего в совмещенных фокусах системы зеркал и многослойного рентгеновского зеркала разряда. Система газонапуска выполнена с возможностью смешения ксенона с другим легким газом. Кроме того, система газонапуска может быть встроена в блок охлаждения и редуцирования газа, создающий при истечении ксенона узконаправленный поток атомов и кластеров рабочего вещества ксенона с размером 10-1000 ангстрем. Технический результат заключается в повышении ресурса работы устройства. 2 н. и 1 з.п. ф-лы. 3 ил.
Изобретение относится к области создания пучков многозарядных ионов (МЗИ) путем их экстракции из плотной плазмы, создаваемой в открытой магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн, которые необходимы для формирования сильноточных пучков многозарядных ионов, востребованных в ряде приложений (ускорительной технике, медицине, ионной имплантации, фундаментальных исследованиях и пр.)
