FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора ГОПИ Баскар Пагадала (DE)
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ СЛОЕВ ПОЛИПАРАКСИЛИЛЕНА ИЛИ ЗАМЕЩЕННОГО ПОЛИПАРАКСИЛИЛЕНА
// 2481901
Изобретение относится к устройству и способу осаждения одного или более тонких слоев полипараксилилена