Патенты автора Руденко Эдуард Михайлович (UA)

Изобретение относится к устройствам технологического оборудования и может быть использовано в технологии производства электронных компонент

Изобретение относится к плазменному оборудованию для многослойного нанесения пленочных покрытий при изготовлении приборов электронной техники