Патенты автора Козлов Александр Геннадьевич (RU)
Полупроводниковый газочувствительный датчик // 2759908
Изобретение относится к анализу материалов, в частности для определения содержания водорода и водородсодержащих газов и может быть использовано при изготовлении газоанализаторов. Техническим результатом заявляемого решения является повышение чувствительности определения водородсодержащих газов в 4÷10 раз при расширении диапазона измерения концентраций водородсодержащих газов до 0,0001 об.% и упрощении конструкции датчика. Указанный технический результат достигается тем, что предложен полупроводниковый газочувствительный датчик, содержащий: подложку с расположенной с одной стороны газочувствительной пленкой, измерительные электроды, размещенные на газочувствительной пленке, нагреватель, расположенный на противоположной стороне подложки, при этом газочувствительная пленка выполнена из материала (In2O3)0,45(Ga2O3)0,45 (InGaO3)0,1. 1 ил., 1 табл.
Использование: для изготовления тонкопленочных СВЧ-резонаторов с Брэгговским отражателем. Сущность изобретения заключается в том, что способ сглаживания поверхности пленки алюминия на диэлектрической подложке включает напыление пленки на подложку методом магнетронного распыления алюминиевой мишени в вакууме и с использованием металла иттрия, совместно распыляют алюминий и иттрий, причем иттрий равномерно распределен по поверхности в области эрозии алюминиевой мишени при отношении суммарной площади пластинок иттрия (SY) к суммарной площади области эрозии алюминиевой мишени (SAl) равном 2,0-6,0%, т.е. γ = SY/SAl = 2,0-6,0%. Технический результат - обеспечение возможности сглаживания шероховатости поверхности пленки алюминия. 4 ил., 2 табл.
ТЕРМОХИМИЧЕСКИЙ ДАТЧИК // 2483297
Изобретение относится к газовому анализу и может быть использовано в газоанализаторах для определения концентрации водородсодержащих горючих газов в окружающей среде и позволяет расширить диапазон измерения концентрации водородсодержащих горючих газов до 100 об.%
