FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора ЧЕРЕНКОВ Артур (RU)
РЕАКТОРНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО ВЫРАЩИВАНИЯ ГИБРИДОВ В ПАРОВОЙ ФАЗЕ
// 2484177
Изобретение относится к реакторной установке для эпитаксиального выращивания гидридов в паровой фазе