FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора ОСОНО Судзи (JP)
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТАЛИТИЧЕСКОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ
// 2486283
Изобретение относится к устройству для каталитического химического осаждения из паровой фазы и может быть использовано для формирования пленки на подложке