Патенты автора ХАЯМИ Ясуаки (JP)

Изобретение относится к полупроводниковому устройству и способу его изготовления. Полупроводниковое устройство содержит первую дрейфовую область (4) с первым типом проводимости, сформированную на первой основной поверхности подложки (1), и вторую дрейфовую область (41) с первым типом проводимости, сформированную на первой основной поверхности подложки (1), причем вторая дрейфовая область формируется таким образом, что она доходит до более глубокой позиции подложки (1), чем позиция первой дрейфовой области (4). Дополнительно включены область кармана со вторым типом проводимости в контакте со второй дрейфовой областью, область истока с первым типом проводимости, сформированная таким образом, что она проходит в направлении, перпендикулярном поверхности области кармана, и область стока с первым типом проводимости, отделенную от области кармана, причем область стока формируется таким образом, что она проходит в направлении, перпендикулярном поверхности первой дрейфовой области. Поскольку проток электронов после прохождения через канал может расширяться, сопротивление может уменьшаться. Техническим результатом изобретения является полупроводниковое устройство и способ изготовления такого устройства допускающее уменьшение сопротивления канала без увеличения глубины всей дрейфовой области. 3 н. и 13 з.п. ф-лы, 39 ил.

Полупроводниковое устройство включает в себя: канавку электрода затвора, сформированную в контакте с дрейфовой областью, областью кармана и областью истока; электрод затвора, сформированный на поверхности канавки электрода затвора через изолирующую пленку; канавку электрода истока в контакте с канавкой электрода затвора; электрод истока, электрически соединенный с областью истока; и проводку затвора, электрически изолированную от электрода истока и сформированную внутри канавки электрода истока в контакте с электродом затвора. Изобретение обеспечивает получение полупроводникового устройства, приспособленного для снижения варьирования порогового напряжения. 7 з.п. ф-лы, 20 ил.

Изобретение относится к системам передачи электроэнергии

 


Наверх