Патенты автора Иванова Валентина Петровна (RU)

СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПОЛОСТИ В ПОДЛОЖКЕ ИЗ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ // 2488189

Изобретение относится к области полупроводниковой техники и может быть использовано, в частности, в технологии изготовления полупроводниковых СВЧ приборов