Патенты автора Никаноров Николай Юрьевич (RU)
Способ определения толщин слоев многослойного покрытия в процессе напыления оптических элементов // 2671927
Изобретение относится к установкам для напыления в вакууме многослойных покрытий различных оптических элементов и может быть использовано для контроля толщины покрытий в широком спектральном диапазоне в процессе их напыления. Способ определения толщин слоев включает расчет толщин слоев для получения требуемого коэффициента отражения или пропускания покрытия в спектральном диапазоне, вычисление оптической толщины каждого слоя и измерение спектра отражения или пропускания слоев покрытия с вычисленными оптическими толщинами, нанесенного на контрольные подложки одновременно с оптическими элементами. Дополнительно рассчитывают спектры отражения или пропускания конструкции покрытия из 2,3, …, N слоев, наносимых на контрольную подложку-имитатор, измеряют физическую толщину каждого слоя с помощью кварцевых микровесов, по значениям оптической и физической толщины определяют фактические показатели преломления напыляемых материалов и их отклонение от использованных при расчете толщин слоев. После напыления любого слоя измеряют результирующие спектры отражения или пропускания на подложке-имитаторе, сравнивают их с соответствующими расчетными спектрами конструкции покрытия и по их отклонению определяют величину корректировки толщины последующего слоя или режимов напыления с использованием установленного фактического показателя преломления. Технический результат - повышение точности определения оптических толщин слоев покрытия. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Изобретение относится к области оптического приборостроения, а именно к лазерной микрообработке и может быть использовано для формирования микроканалов на поверхности подложек из стекла, кристаллов и полупроводниковых материалов при изготовлении оптических шкал, сеток, решеток и других устройств. Способ формирования микроканалов включает облучение поверхности подложки излучением лазера с фемтосекундной длительностью импульсов и длиной волны ультрафиолетового, видимого или ближнего ИК-диапазона. Лазерный луч сканируют линейным растровым методом по строкам на длину участка микрообработки с зонами холостого хода, по одной или более растровым зонам микрообработки, укладывающимся в ширину микроканала. В каждой строке первый импульс излучается на одной границе участка микрообработки, а последний - на другой его границе, длительность пачки импульсов меньше предельной длины участка микрообработки, при которой в подложке не возникают дефекты. Расстояние между строками не более их ширины. Длина каждой из зон холостого хода составляет 5-25% от длины участка микрообработки. Угол растра относительно образующей в каждой точке одного из контуров растровой зоны микрообработки составляет от 35° до 90°. Лазер, системы формирования, двухкоординатного сканирования и фокусирования луча и система позиционирования и фиксации подложки связаны с управляющей ЭВМ. Технический результат заключается в повышении качества микроканалов и формировании различных профилей микроканалов. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 2 ил.
Лазерный имитатор стрельбы // 2635901
Изобретение относится к лазерным учебно-тренировочным средствам и может быть использовано для имитации стрельбы из стрелкового оружия. Лазерный имитатор стрельбы содержит оптически связанные лазер, транспарант и объектив. Транспарант установлен в фокальной плоскости объектива и имеет N зон, где N - не менее 2, с размерами r1<r2<…<rN и с коэффициентами пропускания в зонах τ1>τ2>τi…>τN, центры указанных зон совмещены или смещены относительно друг друга по вертикали. Транспарант выполнен в виде дифракционного оптического элемента (ДОЭ) с чередованием штрихов с максимальным и минимальным пропусканием. При этом параметры штрихов удовлетворяют условиям ,где di - ширина штрихов с минимальным пропусканием в i-й зоне;τi - коэффициент пропускания в i-й зоне;Т - период штрихов ДОЭ,
,где λmin - минимальная рабочая длина волны лазера;ϕ - апертурный угол объектива.Обеспечивается повышение технологичности имитатора и повышение точности имитации стрельбы. 3 ил.
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПРОСВЕТЛЯЮЩЕГО ПОКРЫТИЯ // 2490222
Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано при изготовлении оптических компонентов, состоящих из двух и более склеенных оптических элементов
