Патенты автора Сергеев Владимир Павлович (RU)

Изобретение относится к вакуумной технике. Проточная часть турбомолекулярного вакуумного насоса включает четыре последовательно следующих одна за другой ступени: одну турбомолекулярную, одну переходную торцевую молекулярную и две, первую и вторую, концентрично расположенные напротив друг друга цилиндрические молекулярные ступени. Верхний корпус закреплен на торце внешнего фланца среднего корпуса, снабженного цилиндрическим выступом, сквозными отверстиями, выполненными параллельно его продольной оси, и радиальным отверстием, соединяющими сторону нагнетания четвертой ступени с системой форвакуумной откачки. Наружная поверхность цилиндрического выступа среднего корпуса содержит многозаходные винтовые канавки с углом наклона в сторону вращения ротора. Плоская торцевая поверхность статора выполнена с пазами, образованными дугами окружностей с центрами, равномерно расположенными на центральной окружности, и с углом наклона против вращения ротора и обращенной с осевым рабочим зазором в сторону торцевой поверхности последнего роторного диска турбомолекулярной ступени с размещенными на периферии лопатками под углом наклона в сторону вращения вала. Межлопаточные каналы лопаток оптически закрыты и образуют переходную торцевую молекулярную ступень. Концентрично расположенные напротив друг друга эквидистантные цилиндрические участки между внутренней поверхностью с многозаходными винтовыми канавками статора и наружной поверхностью полого цилиндра ротора, а также между внутренней поверхностью полого цилиндра ротора и наружной поверхностью с многозаходными канавками цилиндрического выступа среднего корпуса образуют соответственно первую и вторую цилиндрические молекулярные ступени проточной части насоса. Изобретение направлено на улучшение откачных характеристик насоса и увеличение его жизненного цикла. 17 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к области вакуумной техники. Насос содержит корпус с входным патрубком и с двумя симметрично расположенными проточными частями относительно входного патрубка. Каждая часть состоит из турбомолекулярной, промежуточной и выходной молекулярной ступеней. Промежуточная ступень выполнена в виде двух кольцевых молекулярных ступеней, концентрично расположенных друг относительно друга с центром расположения на оси вращения вала. Первая кольцевая молекулярная ступень расположена на торцевой поверхности крышки, расположенной между стороной нагнетания турбомолекулярной ступени и стороной всасывания второй кольцевой молекулярной ступени. Последняя расположена между стороной нагнетания первой кольцевой молекулярной ступени и стороной всасывания выходной ступени с формированием потока откачиваемого газа от периферии к центру на сторону всасывания выходной ступени. Выходная ступень образована двумя эквидистантными цилиндрическими участками между внутренней поверхностью ротора и наружной поверхностью корпуса подшипникового узла. На наружной поверхности корпуса узла выполнены многозаходные винтовые канавки. Изобретение направлено на улучшение откачных характеристик насоса за счет повышения степени сжатия промежуточной и выходной ступеней и в результате повышение выходного давления насоса. 16 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к турбомолекулярным насосам

 


Наверх