Патенты автора Заботнов Станислав Васильевич (RU)

Изобретение относится к получению плазмонной пленочной структуры на основе алюминия. Способ включает обработку лазерным излучением заготовки, размещенной на диэлектрической подложке в вакуумной камере с оптически прозрачным окном. В качестве заготовки используют размещенный на подложке слой из порошка на основе сплава алюминия, обработку лазерным излучением слоя из порошка производят в два этапа при перемещении подложки с заготовкой в горизонтальной плоскости в двух перпендикулярных направлениях. На первом этапе осуществляют предварительное уплотнение на подложке слоя из порошка в отсутствие плавления посредством растрового сканирования поверхности слоя по заданной траектории импульсным лазерным излучением с получением уплотненного слоя толщиной 150-600 мкм. На втором этапе проводят селективное лазерное плавление уплотненного на подложке слоя по заданной траектории импульсным лазерным излучением с получением сплавленной плазмонной пленочной структуры толщиной 50-100 мкм. Обеспечивается получение плазмонной пленочной структуры с периодом рельефа 10-250 мкм за счет использования в качестве исходного материала порошков аддитивного производства. 4 з.п. ф-лы, 1 ил., 2 табл.

Изобретение относится к области измерений неоднородностей поверхностей гетероструктур

 


Наверх