Патенты автора Грушев Максим Владимирович (RU)

СПОСОБ ДИФФУЗИОННОЙ СВАРКИ МНОГОСЛОЙНОГО ПАКЕТА ИЗ СТЕКЛА И МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ // 2491158

Изобретение относится к приборостроению и может применяться при изготовлении полупроводниковых микромеханических устройств, например, чувствительных элементов интегральных датчиков