Патенты автора Снежко Николай Юрьевич (RU)
Изобретение относится к области тонкопленочных технологий, в частности технологии получения тонких пленок оксида индия-олова (ITO), и может быть использовано при производстве электролюминисцентных дисплеев и мониторов с сенсорным экраном
