Патенты автора Цхай Сергей Николаевич (RU)

Изобретение относится к области испытания устройств на герметичность и позволяет оперативно обнаруживать микротечи в вакуумных камерах электрофизических устройств, использующих в качестве теплоносителя или охладителя воду, и направлено на оперативное бесконтактное обнаружение в них микротечей как в процессе обработки внутренней поверхности камеры вспомогательным разрядом, так и непосредственно в штатном режиме работы установки, что обеспечивается за счет того, что при воздействии на стенку камеры плазмы или потока электронов происходит разложение вытекающих паров воды, образуются электронно-возбужденные молекулы гидроксила OH(A2Σ), спектр излучения которых регистрируется спектральным прибором. Интенсивность излучения пропорциональна скорости натекания, соответственно скорость натекания может быть измерена по величине регистрируемого сигнала. Способ позволяет обнаруживать натекание на уровне 3·10-5 Па·м3с-1. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

 


Наверх