Патенты автора СИМОМУРА Масако (JP)
Изобретение относится к светочувствительным негативным полимерным композициям, подходящим для образования тонкой структуры фотолитографическим способом. Предложена светочувствительная негативная полимерная композиция, содержащая (a) содержащее эпоксидные группы соединение, (b) первую ониевую соль, содержащую структуру катионной части, представленную формулой (b1), и структуру анионной части, представленную формулой (b2), и (c) вторую ониевую соль, содержащую структуру катионной части, представленную формулой (c1), и структуру анионной части, представленную формулой (c2). Предложены также полученная из указанной композиции тонкая структура и способ ее получения, а также жидкостная эжекторная головка, в которой использована упомянутая тонкая структура. Технический результат - предложенная композиция обеспечивает меньшую изменчивость и превосходную воспроизводимость трехмерной формы при использовании фотолитографического процесса. 4 н. и 7 з.п. ф-лы, 5 ил., 1 табл., 12 пр.
СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНАЯ ПОЛИМЕРНАЯ КОМПОЗИЦИЯ, СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ СТРУКТУРЫ И ГОЛОВКА ДЛЯ ПОДАЧИ ЖИДКОСТИ // 2526258
Изобретение относится к светочувствительной полимерной композиции, пригодной для получения различных микроустройств для микроэлектромеханических систем и других систем, а также к способу получения структуры и к головке для подачи жидкости. Полимерная композиция содержит следующие компоненты: (a) эпоксидную смолу, которая может полимеризоваться в присутствии кислоты; (b) агент, генерирующий фотокислоту, содержащий ониевую соль, содержащую структуру катионной части, представленную формулой (b1), и структуру анионной части, представленную формулой (b2),
и (d) одно из дифенильного, нафталенового и антраценового соединений, содержащих один из следующих заместителей:
Компонент (b) поглощает, по меньшей мере, 50% количества света с длиной волны 365 нм, поглощенного светочувствительной полимерной композицией. Способ получения структуры заключается в том, что берут субстрат, содержащий слой вышеуказанной светочувствительной полимерной композиции и облучают слой светом. Далее отверждают облученную часть и удаляют неотвержденную часть. Затем нагревают отвержденную часть при температуре, по меньшей мере, 140 градусов Цельсия для получения структуры. Головка для подачи жидкости содержит элемент отверстия для подачи, содержащий отверстие для подачи, сконструированное для подачи жидкости. Элемент отверстия для подачи получают из продукта отверждения вышеуказанной светочувствительной полимерной композиции. Изобретение позволяет получить структуру с высокой чувствительностью и высокой правильностью формы. 3 н. и 6 з.п. ф-лы, 9 ил., 4 табл., 9 пр.
Изобретение относится к фоточувствительной композиции смолы, используемой для получения головки для выбрасывания жидкости для генерирования капли жидкости, например капли краски, а также к способу формирования паттерна и к головке для выбрасывания жидкости. Фоточувствительная композиция включает катионно-полимеризуемое соединение, фотогенератор кислоты, имеющую анионную часть и катионную часть, а также соль, имеющую катионную часть, обладающую любой одной из четвертичной структурой аммония или четвертичной структурой фосфония, и анионную часть. При этом анионная часть соли замещена анионной частью первой кислоты, полученной из анионной части фотогенератора кислоты, для формирования второй кислоты, обладающей силой кислоты, меньшей, чем сила кислоты первой кислоты. Катионно-полимеризуемое соединение представляет собой эпоксидную смолу. Фотогенератор кислоты представляет собой, по меньшей мере, соединение, выбранное из группы, включающей соединение сульфоновой кислоты и другие производные сульфоновой кислоты, диазометановое соединение, соединение соли сульфония, соединение соли йодония, сульфонимидное соединение, дисульфоновое соединение, нитробензольное соединение, бензоинтозилатное соединение, ареновый комплекс железа, галогенсодержащее соединение триадина, производное соединение ацетофена, и содержащий цианогруппу сульфатоксим. Способ формирования паттерна заключается в том, что готовят подложку, на которой предоставлена фоточувствительная композиция. Затем проводят экспонирование участка композиции светом для отверждения экспонированной части. Далее отвержденную часть нагревают. Головка для выбрасывания жидкости включает часть с выпускным каналом для выбрасывания жидкости. Часть с выпускным каналом сформирована из отвержденного материала, выполненного из вышеуказанной композиции. Изобретение позволяет повысить термостойкость фоточувствительной композиции и повысить точность формирования паттерна. 3 н. и 10 з.п. ф-лы, 5 табл., 4 ил., 9 пр.
