Патенты автора Кольнер Лев Семенович (RU)

Изобретение относится к области интерференционной оптики и может быть использовано для определения рельефа поверхности на основе фазового изображения, например, в интерференционных микроскопах. Согласно способу получения фазового изображения когерентный лазерный луч разделяют на два луча, первый из которых направляют на фазово-контрастный объект, а второй - на эталонное зеркало. Отраженный первый луч и отраженный второй луч совмещают и направляют на фотоприемник, после чего определяют фазу каждой области фазово-контрастного объекта. При этом предварительно определяют фазовый набег каждой области эталонного зеркала, который получают на основе многократного измерения фазы на каждом пикселе фотоприемника при случайном смещении тестовой поверхности в каждом измерении с последующим усреднением результатов измерений. Измеренная ранее фаза каждой области фазово-контрастного объекта является промежуточной фазой, а истинную фазу каждой области фазово-контрастного объекта получают путем корректировки промежуточной фазы на фазовый набег, соответствующей данному пикселю области эталонного зеркала. Достигается учет как систематической, так и случайной составляющей погрешности фазового изображения, возникающей вследствие неточного исполнения опорного зеркала. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к области приборостроения и может быть применено для точной ориентации объекта в целях наблюдения или обработки, например, в микроскопах. Устройство для позиционирования объекта содержит средство угловой ориентации, состоящее из подвижной и неподвижной частей, и средство вертикальной подачи, связанное с подвижной частью средства угловой ориентации. Средство угловой ориентации обеспечивает угловую ориентацию объекта относительно двух пересекающихся взаимно перпендикулярных горизонтальных осей и может быть выполнено в виде сферического шарнира. Средство вертикальной подачи обеспечивает перемещение объекта относительно подвижной части средства угловой ориентации вдоль вертикальной оси и может быть выполнено в виде линейного электродвигателя или пъезоприводного исполнительного механизма. Обеспечивается нахождение исследуемого фрагмента поверхности в фокусе объектива при выполнении угловой ориентации объектов различной толщины. 7 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение может быть использовано для получения изображения микрорельефа объекта, имеющего большую площадь поверхности. Устройство включает платформу, на которой расположен объект и которая способна перемещаться на двух основных и одной дополнительной аэростатических опорах вдоль первой горизонтальной оси, и портал, на котором установлен фазовый микроскоп и который способен перемещаться на двух основных и одной дополнительной аэростатических опорах вдоль второй горизонтальной оси, перпендикулярной первой горизонтальной оси. Все аэростатические опоры подключены к общей пневматической системе, а микроскоп выполнен с возможностью получения интерферограмм через интервалы времени, равные периоду колебаний давления в общей пневматической системе. Технический результат - обеспечение высокой точности изображения микрорельефа поверхности объекта при взаимном перемещении микроскопа и объекта. 2 ил.

 


Наверх