Патенты автора Никитин Владислав Геннадиевич (RU)

Способ состоит в том, что излучение лазера, сфокусированное на поверхности фоточувствительного слоя, модифицируют по глубине пропорционально плотности мощности излучения, распространяющегося в фоточувствительном слое. Перед входом в фокусирующий объектив излучение лазера коллимируют в параллельный пучок диаметром менее входной апертуры упомянутого объектива и смещают параллельно оптической оси на величину, при которой одна из образующих продольного сечения экспонирующего конуса излучения в слое фоторезиста становится параллельной оптической оси фокусирующего объектива. Во втором варианте дополнительно в промежуток между выходной линзой фокусирующего объектива и поверхностью фоточувствительного слоя вводят иммерсионную жидкость. Технический результат - повышение дифракционной эффективности киноформных линз за счет снижения потерь на обратных скатах зон путем увеличения крутизны скатов, формируемых непосредственно в ходе прямой лазерной записи. 2 н.п. ф-лы, 4 ил., 1 табл.

 


Наверх