Патенты автора Котов Владимир (RU)
Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп содержит: основание (1); блок сближения (3), мобильно установленный на основании (1); пьезосканер (4), расположенный на блоке предварительного сближения (3); держатель объекта (5), расположенный на пьезосканере (4); образец (6), содержащий зону измерений (М) и закрепленный с помощью держателя объекта (5) на пьезосканере (4); платформу (9), закрепленную на основании (1) напротив образца (6); анализатор, установленный на платформе (9) и содержащий первую измерительную головку (13), обращенную к образцу (6) и адаптированную для зондирования зоны измерений (М) образца (6). Также микроскоп содержит первую (10) и вторую (11) направляющие, закрепленные на платформе (9). Анализатор содержит вторую измерительную головку (16), обращенную к образцу (б) и адаптированную для зондирования зоны измерений (М) образца (6). Первая (13) и вторая (16) измерительные головки мобильно установлены соответственно на первой (10) и второй (11) направляющих. Технический результат - обеспечение возможности быстрой смены режимов измерения. 14 з.п. ф-лы, 14 ил.
