Патенты автора ДЕХТИАР Макс (US)

Изобретение относится к энергетике. Представлена производственная установка для осаждения материала на несущую подложку и электрод для использования в такой производственной установке. Несущая подложка имеет первый конец и второй конец, находящиеся на расстоянии друг от друга. На каждом конце несущей подложки расположено контактное гнездо. Установка включает в себя корпус, который образует камеру. По меньшей мере один электрод расположен проходящим через корпус для приема контактного гнезда. Электрод включает в себя внутреннюю поверхность, которая образует канал. Электрод нагревает несущую подложку до необходимой температуры осаждения за счет непосредственного прохождения электрического тока через несущую подложку. В проточном сообщении с каналом электрода находится охладитель для уменьшения температуры электрода. На внутренней поверхности электрода расположено покрытие канала для предотвращения потерь при теплопередаче между охладителем и внутренней поверхностью. Изобретение позволяет улучшить производительность и увеличить срок службы электрода. 2 н. и 25 з.п. ф-лы, 6 ил.

 


Наверх