Патенты автора Трегубов Илья Михайлович (RU)
Группа изобретений относится к вакуумно-плазменной обработке композитов. Установка для наводораживания тонкопленочных композитов в водородной плазме содержит СВЧ-печь и установленный внутри нее кварцевый реактор. Реактор состоит из корпуса в виде полого цилиндра и установленных на его торцах диэлектрических фланцев с хвостовиками для соединения с вакуумными шлангами, один из которых предназначен для подачи водорода, а другой - для вакуумирования СВЧ-печи и реактора. Один из фланцев выполнен с возможностью его снятия, при этом каждый из фланцев состоит из наружной оболочки, крышки, уплотнения и профилированной прокладки из кварцевого стекла с центральным отверстием. Способ включает размещение композитов внутри реактора, вакуумирование реактора и СВЧ-печи, подачу водорода в реактор и осуществление его промывки и СВЧ-печи водородом, затем в реакторе путем СВЧ-разряда зажигают водородную плазму и производят обработку водородом композитов с дополнительным вакуумированием СВЧ-печи в процессе обработки. Обеспечивается улучшение условий воздействия плазмы на композит в процессе непрерывной обработки. 2 н.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение относится к вакуумно-плазменной обработке композитов. Установка для обработки нанокомпозитов в водородной плазме содержит СВЧ-печь, установленный внутри печи кварцевый реактор для размещения в нем нанокомпозитов, состоящий из корпуса в виде полого цилиндра из кварцевого стекла и установленных на его торцах с использованием вакуумного уплотнения диэлектрических фланцев с хвостовиками для соединения с вакуумными шлангами, один из которых предназначен для подачи водорода и снабжен натекателем, а другой - для вакуумирования СВЧ-печи и реактора при помощи механического насоса. Каждый из фланцев выполнен составным и состоит из наружной оболочки, крышки, уплотнения и профилированной прокладки из кварцевого стекла с центральным отверстием. Наружная оболочка выполнена в виде полого двухступенчатого цилиндра с хвостовиком для вакуумного шланга и имеет наружную резьбу для установки на нее крышки и внутреннюю конусную поверхность для установки уплотнения в конический зазор между корпусом реактора и наружной оболочкой. Крышка размещена между торцом наружной оболочки и торцом корпуса реактора. Обеспечивается непрерывная обработка нанокомпозитов. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
ИЗНОСОСТОЙКОЕ НАНОСТРУКТУРНОЕ ПОКРЫТИЕ // 2521914
Изобретение относится к наноэлектронике и наноэлектромеханике и может быть использовано в различных областях современной наноиндустрии, микроэлектронике, альтернативной энергетике и т.д. Износостойкое наноструктурное покрытие выполнено из нанокомпозиционного металл-керамического материала, полученного на ситалловой подложке ионно-лучевым распылением, и имеет структуру, состоящую из гранул металлической фазы со средним диаметром 2-4 нм, изолированных металлической фазой, при этом концентрация металлической фазы составляет 30-56 ат.%. Техническим результатом изобретения является создание наноструктурного металл-керамического покрытия, обладающего высокой износостойкостью и стабильностью параметров. 1 пр., 1 ил.
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОСТРУКТУРНОГО ПОКРЫТИЯ // 2515600
Изобретение относится к технологии нанесения наноструктурных покрытий и может быть использовано в наноэлектронике и наноэлектромеханике. Покрытие получают из композита металл-керамика состава (Co86Nb12Ta2)x(SiOn)100-x. Осуществляют осаждение композита ионно-лучевым распылением с обеспечением образования гранул металлической фазы со средним диаметром 2-4 нм, изолированных сплошной керамической фазой. Концентрацию металлической фазы при распылении выбирают в пределах 20 - 40 ат.%. Получаемые покрытия обладают высокой твердостью и характеризуются высокой стабильностью параметров. 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 пр.
НАНОСТРУКТУРНОЕ ПОКРЫТИЕ // 2515733
Изобретение относится к наноэлектронике и наноэлектромеханике и может быть использовано в различных областях современной наноиндустрии, микроэлектронике, альтернативной энергетике и т.д. Наноструктурное покрытие выполнено из нанокомпозиционного металл-керамического материала состава (CO86Nb12Ta2)x(SiOn)100-x, полученного на
ситалловой подложке ионно-лучевым распылением и имеющего структуру, состоящую из гранул металлической фазы со средним диаметром 2-4 нм, изолированных сплошной керамической фазой, при этом концентрация металлической фазы составляет 20-40 ат.%. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Изобретение относится к наноэлектронике и наноэлектромеханике и может быть использовано в различных областях современной наноиндустрии, микроэлектронике, альтернативной энергетике и т.д.
В способе получения наноструктурного покрытия из гранулированного нанокомпозита «металл-керамика» получают нанокомпозит предпочтительно методом ионно-лучевого распыления с образованием гранул, со средним диаметром преимущественно 2-4 нм, а концентрацию металлической фазы в получаемом нанокомпозите при распылении обеспечивают в пределах 25-30 ат.%. Изобретение обеспечивает создание наноструктурного покрытия, обеспечивающего повышенную износостойкость, высокую стабильность параметров с одновременным снижением себестоимости. 2 ил.
Изобретение относится к наноэлектронике и наноэлектромеханике и может быть использовано в различных областях современной наноиндустрии, микроэлектроники, альтернативной энергетике и т.д. Способ повышения износостойкости наноструктурного покрытия из гранулированного композита «металл-керамика», преимущественно (CO40Fe40B20)x(CaF2)100-x, получаемого методом ионно-лучевого напыления на подложки и представляющего собой наноструктурный материал, состоящий из металлических гранул со средним диаметром преимущественно 2-6 нм, расположенных в объеме керамической матрицы, характеризуется тем, что концентрацию металлической фазы при напылении выбирают в пределах 20-60 ат.%, предпочтительно 30-56 ат.%. Изобретение обеспечивает повышенную износостойкость, высокую стабильность параметров с одновременным снижением себестоимости. 1 ил.
Изобретение относится к наноэлектронике и наноэлектромеханике и может быть использовано в различных областях современной наноиндустрии, микроэлектронике, альтернативной энергетике и т.д. Наноструктурное покрытие из наногранулированного композита «металл-керамика», преимущественно (CO40Fe40B20)x(CaF2)100-x, получено методом ионно-лучевого напыления на подложки и представляет собой наноструктурный материал, состоящий из металлических гранул со средним диаметром преимущественно 2-6 нм, расположенных в объеме керамической матрицы. Концентрация металлической фазы составляет 20-60 ат.%, предпочтительно 30-56 ат.%. Изобретение обеспечивает повышенную износостойкость, высокую стабильность параметров с одновременным снижением себестоимости защитного покрытия. 1 ил.
