Патенты автора Шабакин Владимир Павлович (RU)
Изобретение относится к технологии нанесения тонких пленок, а именно к испарителям, и может быть использовано для напыления пленок из драгоценных металлов и сплавов. Технический результат - повышение гравитационной стабильности расплава, уменьшение разбрызгивания, увеличение эффективной поверхности смачивания, улучшение диаграммы направленности и уменьшение неконтролируемого угла разлета напыляемых материалов. Испаритель выполнен из углеродного материала с выемкой для размещения напыляемого материала в виде канавки, расположенной нормально вектору напряженности гравитационного поля и имеющей в поперечном сечении вид трапеции. Нижнее по отношению к гравитационному полю основание трапеции меньше верхнего. При этом в канавке размещена вставка в виде объемного элемента из W или Мо или Та. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
