Патенты автора САКАСЕГАВА Такеши (JP)

Регулятор потока (10) содержит датчик расхода потока (14), имеющий чувствительный элемент (12), который измеряет расход потока, и блок управления расходом потока (18), который подсоединен к этому датчику расхода потока (14) и позволяет регулировать расход упомянутого потока. Сенсор (38), на котором построен этот чувствительный элемент (12), состоит из теплового сенсора потока, использующего технологию MEMS, а расход потока, измеренный упомянутым сенсором (38), выдается на блок управления (24). Кроме того, в блоке управления расходом потока (18) состояние воздуха в питающей камере (84) переключается соответственно питающим электромагнитным клапаном (92) и выпускным электромагнитным клапаном (94), а управляющий клапан (58) открывается и закрывается, базируясь на состоянии упомянутого питающего воздуха. Технический результат - понижение потребления мощности и обеспечение возможности приводиться в действие низкими давлениями при управлении расходом потока, обеспечивая наряду с этим высокое быстродействие управления расходом потока. 7 з.п. ф-лы, 3 ил.

 


Наверх