Патенты автора ШМИТЦ Бруно (BE)

Изобретение относится к установке для непрерывного вакуумного осаждения металлического покрытия на движущуюся подложку и к способу подготовки к непрерывному вакуумному осаждению металлического покрытия на движущуюся подложку в указанной установке. Заявленная установка содержит камеру (24) вакуумного осаждения, по меньшей мере одну головку (25, 26) для нанесения покрытия струйным осаждением пара, соединенную с испарительным тиглем (9), предназначенным для содержания металла покрытия в жидком виде (11), с помощью подающего пар трубопровода (20), снабженного распределительным клапаном (19), и печь (1) для плавления указанного металла. Указанная печь находится под атмосферным давлением, расположена ниже уровня самой низкой части испарительного тигля (9) и соединена с испарительным тиглем (9) по меньшей мере одним трубопроводом (8) для автоматического питания испарительного тигля (9), снабженным питающим насосом (6), и по меньшей мере одним трубопроводом (8А, 18) для возврата жидкого металла, факультативно снабженным клапаном (16, 17). В установке дополнительно предусмотрены средства регулирования питающего насоса (6), обеспечивающие регулирование определенного уровня жидкого металла в испарительном тигле (9). Установка содержит в каждом из указанных трубопроводов (8, 8А, 18) питания и возврата зону (7, 13, 15), называемую термоклапаном, которая снабжена устройством нагрева и устройством охлаждения для получения регулируемой температуры, независимой от температуры плавильной печи (1) и от температуры в остальной части указанных трубопроводов (8, 8А, 18) и в испарительном тигле (9), для расплавления или отверждения металла, находящегося в этом месте. Обеспечивается возможность затвердевания жидкого металла без формирования твердой пробки на свободной поверхности печи или в питающих трубопроводах. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к установке для вакуумного осаждения покрытия из металлического сплава на подложку (7). Генератор - смеситель пара установки содержит вакуумную камеру (6), которая имеет средства для создания в ней разрежения относительно внешней среды и средства, обеспечивающие вход и выход подложки (7). Камера (6), по существу, непроницаема для внешней среды. Эжекторная головка (3) для осаждения пара предназначена для создания струи пара металлического сплава со звуковой скоростью в направлении поверхности подложки (7) и перпендикулярно к ней. Эжекторная головка (3) герметично сообщается с отдельным смесительным устройством (14), которое, в свою очередь, соединено выше по потоку соответственно, по меньшей мере, с двумя тиглями (11, 12), содержащими два разных металла M1 и М2 в жидком виде. Каждый тигель (11, 12) соединен собственной отдельной трубой (4, 4′) со смесителем (14). В результате достигается возможность дифференцированного и быстро корректируемого регулирования содержания входящих в состав сплава металлов, обеспечивается равномерность испарения и получение качественного покрытия. 2 н. и 16 з.п. ф-лы, 6 ил.

 


Наверх