Патенты автора Аксенов Константин Сергеевич (RU)

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться для создания микромеханических датчиков линейных ускорений и гироскопов. Чувствительный элемент микромеханического акселерометра содержит внешнюю рамку, на которой сформированы площадки крепления к обкладкам, инерционную массу, соединенную одной стороной с упругими элементами, а другие концы упругих элементов соединены с внешней рамкой. На одной стороне внешней рамки, в центре симметрии сформирована балка. Сформирована перекладина, к которой одним концом прикреплены упругие элементы, а другим концом упругие элементы соединены с инерционной массой. В центре балки сформирована Т-образная прорезь. По обе стороны ножки Т-образной прорези сформированы L-образные прорези. Обеспечивается повышение точности микромеханического акселерометра. 2 ил.

Микромеханический акселерометр содержит основание, чувствительный элемент, состоящий из двухплечевого маятника, изготовленного из монокристаллического кремния, стеклянную обкладку, внешнюю рамку с площадками крепления к стеклянной обкладке, соединенную с двухплечевым маятником через упругие торсионы. В основании сформированы пьедесталы, сформированы упругодеформируемые ячейки, соединенные с внешней рамкой через балки. Балки сформированы и соединены с внешними углами внешней рамки. На двух сторонах внешней рамки с обеих сторон поперечной оси в местах сопряжения упругих торсионов и площадок крепления к стеклянной обкладке симметрично сформированы крестообразные сквозные щели. Повышается точность акселерометра. 3 ил.

Изобретение относится к области приборостроения. Микромеханический акселерометр содержит основание, чувствительный элемент, состоящий из верхней и нижней крышек, инерционной массы, а также разделительный слой. Разделительный слой дополнительно содержит развязывающую плоскость, стеклянную подложку. В развязывающей плоскости сформированы упругодеформируемые балки с расположенными на них площадками крепления к нижней крышке чувствительного элемента и стеклянной подложке, причем к стеклянной подложке - с нижней стороны, а к нижней крышке чувствительного элемента – с верхней стороны развязывающей плоскости. Упругодеформируемые балки на участках между площадками крепления, а также на участках между площадками крепления и развязывающей плоскостью выполнены в форме меандра с n количеством изгибов. Технический результат – повышение точности микромеханического акселерометра. 2 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических акселерометрах. Чувствительный элемент микромеханического акселерометра содержит маятник из монокристаллического кремния, верхнюю и нижнюю обкладки и внешнюю рамку, соединенную с маятником через упругие торсионы. Дополнительно сформированы верхняя и нижняя неподвижные пластины. Сформирована дополнительная опорная рамка, выполненная в виде упругодеформируемых балок. Дополнительная опорная и внешняя рамки сопряжены через сформированные перемычки. В перемычках сформированы сквозные щели. На внешней рамке сформирован сплошной контур для присоединения верхней и нижней обкладок. Технический результат - повышение точности микромеханического акселерометра. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при изготовлении микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления. Микромеханический акселерометр содержит основание, чувствительный элемент, состоящий из верхней и нижней крышек, инерционной массы, разделительный слой, клей-герметик. Разделительный слой состоит из развязывающей плоскости, стеклянной подложки, стеклянных микрошариков. С одной стороны в развязывающей плоскости сформированы микролунки или канавки или углубления, с другой стороны сформированы площадки крепления к нижней крышке чувствительного элемента, выполненные по периферии развязывающей плоскости, стеклянные микрошарики установлены в микролунки или канавки или углубления, клей-герметик нанесен между развязывающей плоскостью - стеклянными микрошариками - стеклянной подложкой. Технический результат - повышение точности микромеханического акселерометра. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических акселерометрах, микрогироскопах, интегральных датчиках давления. Микромеханический акселерометр с низкой чувствительностью к термомеханическим воздействиям содержит двухплечевой маятник из монокристаллического кремния, стеклянную обкладку, внешнюю рамку с площадками крепления к стеклянной обкладке. Внешняя рамка соединена с двухплечевым маятником через упругие торсионы. Сформирована дополнительная опорная рамка, соединенная с внешней рамкой через жесткие балки. Площадки крепления к стеклянной обкладке сформированы на дополнительной опорной рамке. Технический результат – повышение точности и снижение трудоемкости. 2 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических датчиках линейных ускорений. Технический результат – повышение точности измерения линейных ускорений. Узел центральной пластины, расположенный между неподвижными внешними пластинами, сформирован за одно целое. Сформирована внешняя рамка и внутренняя часть, соединенные через упругие элементы. К внешней стороне неподвижной внешней пластины присоединена сформированная дополнительная контурная рамка переменной толщины и ширины. Сформированы площадки крепления к сформированной подложке и к неподвижной внешней пластине. 4 ил.

(57) Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к гироскопии, и может быть использовано в приборостроении, авиакосмической отрасли и машиностроении. Технический результат - повышение качества и обеспечение технологичности изготовления. Для этого обезгаживание, вакуумирование и герметизацию выполняют в одном операционном цикле в герметичной вакуумной камере с остаточным давлением не более чем 5·10-5 мм рт.ст. При этом основание с магнитной системой и кремниевым резонатором и крышку размещают в герметичной вакуумной камере раздельно, не соприкасая друг с другом, и обезгаживают одновременно при температуре не менее 150°С в течение не менее 4-х часов, а для вакуумирования и герметизации основание накрывают крышкой и герметизируют, одновременно обеспечивают вакуумирование микрогироскопа, поддерживая внутри герметичной вакуумной камеры остаточное давление не более чем 5·10-5 мм рт.ст. 1 ил.

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к гироскопии и может быть использовано в приборостроении, авиакосмической отрасли и машиностроении. В вибрационном вакуумном гироскопе магнитная система содержит немагнитное центрирующее кольцо, установленное на магните, верхний магнитопровод установлен по посадке на немагнитное центрирующее кольцо, опора кремниевого резонатора установлена на немагнитную подложку по посадке с нижним магнитопроводом, при этом поверхности магнита, центрирующего кольца, нижнего и верхнего магнитопроводов, немагнитной подложки, кремниевого резонатора и опоры резонатора собраны без образования внутренних полостей. Изобретение позволяет повысить технологичность изготовления гироскопа. 3 ил.

 


Наверх