Патенты автора ГОЛЬФЬЕ,Клэр (CH)
Изобретение относится к области изготовления микромеханических деталей гальванопластикой, в частности изготовлению деталей, обеспечивающих движение в часовых механизмах. Способ включает изготовление формы путем обеспечения подложки, имеющей верхний слой и нижний слой, которые изготавливают из электропроводящего материала на основе кремния и скрепляют друг с другом через электроизолирующий промежуточный слой, травление в верхнем слое до промежуточного слоя по меньшей мере одного шаблона для образования в указанной форме по меньшей мере одной полости, нанесение на верхнюю часть указанной подложки электроизолирующего покрытия и направленное травление указанного покрытия и указанного промежуточного слоя для обеспечения их наличия исключительно на вертикальных стенках, образующихся в указанном верхнем слое. Затем осуществляют электролитическое осаждение присоединением электрода к проводящему слою на нижней поверхности подложки для получения детали в форме и извлекают из формы полученную деталь. Достигается требуемая точность производства при обеспечении возможности изготовления деталей, имеющих несколько уровней и/или обладающих высоким коэффициентом гибкости. 3 н. и 15 з.п. ф-лы, 19 ил.
Изобретение относится к способу изготовлению формы для изготовления микромеханических деталей с помощью гальванопластики. Способ включает осаждение токопроводящего слоя на верхней (20) и нижней (22) поверхностях подложки (21), изготовленной из материала на основе кремния, прикрепление указанной пластины к подложке (23) с помощью липкого слоя, удаление одной части (26) проводящего слоя с верхней поверхности пластины (21), травление пластины до удаления проводящего слоя (22) на ее нижней поверхности в форме (26) части, удаленной с проводящего слоя (22) на ее верхней поверхности для получения в форме по меньшей мере одной полости (25). Предложенный способ позволяет обеспечить высокую точность изготовления микромеханических деталей, имеющих несколько уровней и/или обладающих высоким коэффициентом гибкости. 3 н и 16 з.п. ф-лы, 13 ил.
