Патенты автора Белашов Игорь Валерьевич (RU)

Изобретение относится к СВЧ технике и может быть использовано для изготовления держателей для подложек, на которых формируют методом плазменного парофазного химического осаждения пленки или покрытия различных материалов, в частности углеродные (алмазные) пленки или покрытия. Держатель подложки выполнен в виде диска из тугоплавкого высокотемпературного переходного металла, при этом верхняя поверхность держателя, выполнена шлифованной, а нижняя поверхность держателя содержит кольцевые пазы, образованные концентрическими окружностями. Между кольцевыми пазами образованы внешний и средний теплоотводящие элементы в виде кольцевых выступов и центральный теплоотводящий элемент, представляющий собой выступ в виде круга. Обеспечивается повышение однородности распределения температурного поля по поверхности держателя, обеспечивающего однородность роста пленки по толщине. 10 з.п. ф-лы, 3 ил., 2 пр.

Группа изобретений относится к покрытиям. Cпособ включает вакуумную лазерную абляцию в реакционной камере с испарением мишени твердотельным лазером и последующим осаждением аморфного алмазоподобного покрытия в виде пленки на лезвие хирургического скальпеля. Используют мишень из пиролитического графита и твердотельный лазер на основе алюмоиттриевого граната с неодимом, имеющий длину волны 532 нм, мощность 15-25 Дж, выходную энергию лазерного импульса 80-160 мДж, частоту следования импульсов излучения 50 Гц и длительность одного импульса 15·10-9. Лезвие хирургического скальпеля размещают на расстоянии 10-25 см от мишени под углом 15-45º. Осаждение покрытия ведут в течение 10-40 минут при давлении в реакционной камере 6×10-4 Па. Хирургический скальпель с полученным аморфным алмазоподобным покрытием на лезвии имеет среднюю шероховатость поверхности лезвия не более 60 нм и спектр комбинационного рассеяния света с пиками, локализованными в области 1600 см-1 и 1355 см-1. Обеспечивается улучшение качества хирургических скальпелей путем нанесения углеродного биосовместимого покрытия. Режущая поверхность более ровная и гладкая, что обеспечивает более легкое протекание послеоперационного периода. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 5 ил.

 


Наверх