Патенты автора ФЮСЕНЖЕ,Александр (CH)
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ МИКРОСТРУКТУРЫ И МИКРОСТРУКТУРА, ПОЛУЧЕННАЯ УКАЗАННЫМ СПОСОБОМ // 2528522
Изобретение относится к области изготовления металлических микроструктур с применением технологии LIGA - литография, гальванопластика и формовка. Способ включает следующие этапы: на проводящую подложку наносят слой фоточувствительной смолы, сглаживают поверхность слоя смолы до получения требуемой толщины, облучают слой смолы через маску, растворяют незаполимеризовавшиеся участки слоя смолы, проводят гальваническое осаждение по меньшей мере одного слоя металла на участках проводящей поверхности для формирования электроформованных блоков, которые достигают верхней поверхности слоя смолы, и продолжают осаждение металла на сглаженной поверхности слоя смолы с образованием металлических перемычек, соединяющих блоки друг с другом, отделяют слой смолы и блоки от подложки, удаляют с блоков слой смолы, прикрепляют блоки базовой торцевой поверхностью к рабочей пластине, подвергают механической обработке наружные поверхности вместе с перемычками до получения микроструктур требуемой толщины, освобождая таким образом блоки друг от друга, и отделяют сформированные металлические микроструктуры от рабочей пластины. Технический результат: повышение точности размерных характеристик микроструктур. 3 н. и 5 з.п. ф-лы, 4 ил.
