Патенты автора Варлашкин Андрей Валериевич (RU)
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ОДНОРОДНЫХ ГЛАДКИХ ТОНКИХ ПЛЕНОК РАЗЛИЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ТВЕРДЫЕ ПОДЛОЖКИ // 2529865
Изобретение относится к области технологии сверхпроводящих тонких пленок и может найти применение в производстве сверхпроводящих лент на основе высокотемпературных сверхпроводников для сверхпроводящих кабелей передачи электрической энергии, работающих при температуре жидкого азота. Устройство для нанесения однородных гладких тонких пленок различных материалов на твердые подложки методом импульсного лазерного испарения содержит мощный импульсный лазер, обычную оптическую систему, фокусирующую излучение на мишени, и вакуумную камеру. В вакуумной камере расположены узел мишени, скоростной фильтр и узел подложки. В качестве подложки использована длинномерная гибкая металлическая лента на катушке с механизмом протяжки, а скоростной фильтр выполнен в виде вращающегося диска с отверстием для прохождения испаренного вещества. Узел мишени выполнен с возможностью смены мишени в процессе нанесения пленки, что позволяет создавать многослойные структуры без вынесения подложки из вакуума на воздух. Изобретение обеспечивает получение однородных гладких тонких пленок различных материалов на длинномерных металлических лентах. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
