Патенты автора ЭМАНУЭЛЬСЕН Сив М. (NO)

Настоящее изобретение относится к суспензии, содержащей совокупность абразивных зерен и связующее вещество. Суспензия, содержащая совокупность абразивных зерен и связующее вещество, отличается тем, что гранулометрическая фракция D40-D60 указанной совокупности абразивных зерен содержит более 15 об.% и менее 80 об.% зерен, имеющих округлость менее 0,85, при этом процентили D40 и D60 представляют собой процентили интегральной кривой гранулометрического состава размеров зерен, соответствующие размерам зерен, которые позволяют отделять фракции, которые составляют 40 об.% и 60 об.%, соответственно, зерен, имеющих наибольшие размеры; и указанные абразивные зерна представляют собой более 25% и менее 46% от массы указанной суспензии. Заявлена также абразивная проволока, способ распила блока на основе оксида кремния, способ обработки слитка. Технический результат - суспензия по изобретению обеспечивает высокую скорость распила, позволяет изготовить пластины, в частности кремниевые пластины, имеющие очень маленькую толщину, порядка 100 мкм с низким процентом брака. 4 н. и 11 з.п. ф-лы, 6 табл., 1 ил.

 


Наверх