Патенты автора Ватник Сергей Маркович (RU)
ВАКУУМНЫЙ ДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ // 2530073
Изобретение относится к испарителям металлов, предназначенным для нанесения покрытий путем электронно-лучевого напыления, и может быть использовано для получения металлических пленок на деталях из металлов или диэлектриков. Вакуумный дуговой анодный испаритель металлов содержит термоэмиссионный катод и тигель-анод для расположения испаряемого металла. Тигель-анод выполнен с ограничивающей диафрагмой, расположенной над испаряемым металлом и имеющей отверстие или сквозной канал. Ограничивающая диафрагма выполнена из материала с температурой плавления не ниже температуры испарения испаряемого металла. Изобретение позволяет увеличить удельную и полную мощность, вкладываемую в самоподдерживающийся разряд, увеличить степень ионизации и скорость направленного потока, сужением конуса направленности потока испаряемого металла и увеличением эффективности использования последнего, и переходом работы устройства из диффузионного в сублимационный режим испарения. 4 з.п.ф-лы, 1 ил., 1 пр.
