Патенты автора Дубинин Дмитрий Александрович (RU)

Изобретение относится к области нанотехнологии и может быть использовано в автоматизированных транспортных системах передачи и позиционирования образца в вакууме и контролируемой газовой среде. Устройство содержит средство захвата образца и механизм его перемещения, носитель образца в виде кольца, профилированного по внешней окружности. Средство захвата содержит платформу, две пары роликов, попарно расположенных на противоположных краях платформы и выполненных с элементами взаимодействия с носителем образца, и привод перемещения роликов вдоль горизонтальной оси. Механизм перемещения средства захвата содержит U-образную раму, соединенную с приводом перемещения вдоль вертикальной оси, установленным на основании устройства. U-образная рама своими проушинами охватывает платформу средства захвата образца и на них порознь установлены привод поворота средства захвата вокруг горизонтальной оси и привод вращения одного из роликов. Устройство позволяет выполнять независимые функции ориентации и переворота образца рабочей поверхностью вверх или вниз, функцию механизма межоперационной передачи образца из одной камеры кластера в другую без переворота и ориентации образца. 7 з.п. ф-лы, 8 ил.

 


Наверх