Патенты автора Горечий Антон Валерьевич (RU)
Изобретение относится к области нано-, микроэлектроники и аналитического приборостроения и может быть использовано в разработке технологии и в производстве изделий микро- и наноэлектроники, а также в производстве чистых материалов и для диагностики и контроля жидких технологических сред. Способ определения атомного состава активных примесей в жидких средах заключается в подготовке анализируемого объекта и размещении его в вакууме. Затем осуществляют облучение поверхности пучком заряженных частиц и регистрацию вторичных частиц, по которым определяют состав атомов поверхности. При этом подготовку анализируемого объекта осуществляют подготовкой поверхности полупроводниковой пластины химическим травлением, обработкой в перекисно-аммиачном растворе и отмывкой в деионизованной воде. На подготовленную поверхность чистой полупроводниковой пластины наносят каплю анализируемой жидкости размером не менее микрона на поверхность, затем ее удаляют, а для анализа облучают пучком заряженных частиц след удаленной капли. Технический результат направлен на повышение экспрессности анализа, а также на улучшение предела обнаружения, в частности, не менее чем 10-100 раз.
