Патенты автора Шиманский Руслан Владимирович (RU)
Способ контроля погрешности изготовления дифракционных оптических элементов (ДОЭ) заключается в формировании контрольных окон для нанесения координатных меток, которые выполняют хотя бы из двух групп периодических решеток. Причем первую группу периодических решеток наносят в контрольные окна до начала изготовления дифракционной структуры, а последующие группы периодических решеток наносят одновременно с ее изготовлением. Далее измеряют характеристику контрольных меток в виде взаимного смещения первой группы периодических решеток относительно последующих групп периодических решеток. Технический результат заявляемого изобретения заключается в уменьшении погрешности контроля изготовления дифракционной структуры осевых и внеосевых ДОЭ при осуществлении контроля характеристик координатных меток как в радиальном, так и в угловом направлениях. 3 з.п. ф-лы, 8 ил.
Способ может быть использован для изготовления высокоточных и крупноразмерных дифракционных оптических элементов (ДОЭ). Способ включает фокусировку пучка лазерного излучения на поверхность светочувствительного слоя оптической заготовки, приведение ее во вращение, совмещение центра фокусировки пучка лазерного излучения с осью вращения заготовки, выбор точки совмещения центра фокусировки пучка лазерного излучения с осью вращения оптической заготовки за начало отсчета декартовой системы координат устройства позиционирования сфокусированного пучка лазерного излучения, перемещение сфокусированного пучка лазерного излучения по поверхности оптической заготовки в радиальном направлении. Дополнительно в светочувствительном слое заготовки записывают хотя бы одну реперную структуру, определяют временную зависимость скорости дрейфа реперной структуры вдоль осей декартовой системы координат устройства позиционирования сфокусированного пучка лазерного излучения и корректируют в процессе изготовления ДОЭ расстояние от координаты пучка лазерного излучения до оси вращения оптической заготовки, в зависимости от скорости дрейфа реперной структуры. Технический результат - повышение точности совмещения точки начала системы координат с осью вращения оптической заготовки в течение всего времени изготовления. 9 з.п. ф-лы, 12 ил.
