Патенты автора ЛЕКСМОНД,Аксель Себастьян (NL)

Изобретение относится к устройству и способу для нанесения атомного слоя на поверхность подложки. Упомянутое устройство содержит инжекторную головку для газообразного прекурсора с выступающими частями, содержащую систему подачи газообразного прекурсора, причем упомянутая инжекторная головка выполнена с возможностью инжекции газообразного прекурсора из системы подачи газообразного прекурсора в пространство нанесения для контакта с поверхностью подложки. Пространство нанесения ограничено упомянутой инжекторной головкой и поверхностью подложки. Упомянутое устройство выполнено с возможностью обеспечения перемещения упомянутой инжекторной головки и подложки относительно друг друга в плоскости поверхности подложки. Упомянутая инжекторная головка содержит инжектор несущего газа для инжекции несущего газа между упомянутой инжекторной головкой и поверхностью подложки и/или между упомянутой инжекторной головкой и поверхностью держателя подложки, который механически прикреплен к подложке. Инжектор несущего газа отделен от системы подачи прекурсора для получения несущего газ слоя, сформированного несущим газом, между выступающими частями упомянутой инжекторной головки и подложкой и/или между выступающими частями упомянутой инжекторной головки и поверхностью держателя подложки, и обеспечивающего образование удерживающей структуры для удерживания введенного газообразного прекурсора в пространстве нанесения, прилегающем к поверхности подложки. Устройство дополнительно выполнено с возможностью обеспечения относительного перемещения инжекторной головки для газообразного прекурсора и подложки в плоскости вне поверхности подложки в зависимости от давления несущего газа между поверхностью подложки и инжекторной головкой для газообразного прекурсора и/или между инжекторной головкой для газообразного прекурсора и держателем подложки. Обеспечивается улучшенное использование газообразного прекурсора для осаждения атомного слоя. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 10 ил.

 


Наверх