Патенты автора КОСАРЕВ Борис Андреевич (RU)
Изобретение относится к области микроэлектроники, к технологии изготовления устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Достигаемый технический результат - изготовление устройств на ПАВ с высокой частотой за счет устранения образования непроанодированных островков алюминия и устранения подтравливания алюминиевых электродов. Способ изготовления устройств на поверхностных акустических волнах включает в себя нанесение на пьезоэлектрическую подложку пленки алюминия, нанесение под нее пленки вентильного металла, формирование фоторезистивной маски, электрохимическое анодирование алюминия в зазорах между электродами, удаление образующегося пористого оксида алюминия в селективном химическом травителе, частичный перевод электрохимическим анодированием пленки вентильного металла в оксид вентильного металла, удаление образующегося оксида вентильного металла и непроанодированной пленки вентильного металла в селективных химических травителях, которые не воздействуют на пленку алюминия и материал пьезоэлектрической подложки. 5 з.п. ф-лы, 2 ил.
