Патенты автора Кострин Дмитрий Константинович (RU)
Источник быстрых нейтральных частиц // 2770950
Изобретение относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам генерации потоков ускоренных нейтральных частиц. Источник быстрых нейтральных частиц состоит из основного катода, дополнительного полого катода, анода и газораспределительной пластины с отверстиями. Пластина делит квазизамкнутый объем, образованный основным и дополнительным катодами, на входной и рабочий объемы. Во входном объеме имеются отверстия для напуска рабочего газа. Основной катод изготовлен в виде цельного, массивного блока изогнутой формы, на рабочей поверхности которого вскрыты каналы. Дополнительно имеется соленоид, расположенный снаружи основного и дополнительного катодов, для создания магнитного поля, организовывающего упорядочиваемый характер движения ионов в направлении основного катода. Достигается улучшение качества обработки поверхности. 1 ил.
Устройство для нанесения металлического покрытия на пьезопленку вакуумно-плазменным методом // 2768679
Изобретение относится к устройству для вакуумно-плазменного нанесения металлического двухстороннего покрытия на пьезопленки. Упомянутое устройство содержит вакуумную камеру с источником ионно-плазменного распыления и держатели пьезопленок. Держатели пьезопленок выполнены в виде рамок, каждая из которых установлена на втулке, снабженной в горизонтальной плоскости четырьмя выступами параболической формы и установленной с возможностью вращения вокруг своей оси. Втулки для указанных рамок установлены на вращающемся основании на равных расстояниях от центра вращения. Каждая втулка выполнена с возможностью поворота на 90 градусов после каждого прохождения вращающегося основания через неподвижное фиксирующее устройство в виде стержня, расположенного на расстоянии от упомянутой втулки меньше величины ее выступов. В частных случаях осуществления изобретения каждая рамка выполнена в виде маски. Обеспечивается возможность нанесения металлических покрытий требуемой конфигурации на пьезоэлектрические пленки с двух сторон в одном технологическом цикле. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Изобретение относится к технологии нанесения антиэмиссионного покрытия из пиролитического углерода на металлические сеточные электроды электронных ламп большой мощности, таких как мощные генераторные лампы, лампы бегущей волны (ЛБВ), клистроны импульсного и непрерывного действия, магнетроны. Способ осуществляют путем химического осаждения из газовой фазы в низкотемпературной плазме вакуумно-дугового разряда с графитового катода 2 на нагретые до температуры от 550 до 1300°С сеточные электроды 8, при этом поддержание их рабочей температуры при нанесении покрытий регулируют величиной тока вакуумно-дугового разряда и местом расположения сеточных электродов 8, осуществляемым планетарным механизмом вращения 9, в плазменном потоке в зависимости от удаленности до катода вакуумно-дугового испарителя и угла расположения сеточного электрода в вакуумной камере по отношению к плоскости торца катода; или током электронов, извлекаемых из плазмы вакуумно-дугового разряда, при подключении сеточных электродов 8 к плюсу источника питания вакуумно-дугового разряда; или подачей на сеточные электроды 8 отрицательного напряжения смещения в диапазоне напряжений от -300 В до -1500 В. Плазма одновременно используется как для нагрева сеточных электродов, так и для разложения газообразных углеводородов или паров жидких углеводорода на активные радикалы. При этом отпадает необходимость в использовании плазмообразующих газов и снижается температура пиролиза углеводородов. Изобретение способствует упрощению технологического процесса нанесения пироуглерода, снижению энергозатрат и, как следствие, повышению экономической эффективности процесса, повышению адгезии покрытий и скорости их осаждения. 2 ил.
Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано для формирования интерметаллического антиэмиссионного покрытия на сеточных электродах мощных генераторных ламп. Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия Pt3Zr на сеточных электродах мощных генераторных ламп включает формирование на тугоплавкой подложке слоев карбида материала сеточного электрода, циркония и карбида циркония, поверхностного слоя платины и последующий отжиг сеточного электрода с нанесенным комбинированным покрытием. Слой карбида циркония получают послойным осаждением из плазменного потока, формируемого при распылении циркониевого катода посредством вакуумно-дугового разряда, при подаче паров бензола, нанослоев циркония, карбида циркония переменного состава и карбида циркония с избыточным содержанием углеродной фазы, и последующим отжигом в вакууме. Пары бензола подают с помощью натекателя за один импульс, обеспечивающий изменение давления от 3.3⋅10-2 Па до 8.7⋅10-2 Па. Обеспечивается получение бездефектного покрытия и, как следствие, повышение эксплуатационных свойств выпускаемых приборов. 3 ил., 1 пр.
Изобретение относится к области технической физики и может быть использовано для формирования покрытий путем импульсно-периодического плазменного осаждения, а также для изменения механических, химических, электрофизических свойств приповерхностных слоев материалов. Способ импульсно-периодического плазменного формирования покрытия с диффузионным слоем карбида молибдена на изделии из молибдена включает генерирование плазмы непрерывным вакуумно-дуговым разрядом и формирование диффузионного слоя при импульсно-периодическом ускорении ионов из плазменного потока. Формирование упомянутого покрытия на обрабатываемом изделии осуществляют путем последовательной подачи импульсов напряжения переменной полярности, формирующих импульсные потоки ускоренных ионов и электронов, при этом обеспечивают разогрев изделия до температуры 700-1000 K за интервал времени (te34), соответствующий длительности импульсов электронного тока, поступающего на изделие, и осаждение ускоренных ионов плазменного потока за интервал времени (ti12), соответствующий длительности импульсов ионного тока, поступающего на изделие, при этом устанавливают соотношение (te34)≥(ti12). Обеспечивается получение покрытий высокого качества с достижением высокой скорости роста формируемого покрытия и, как следствие, повышение эксплуатационных свойств обрабатываемых изделий. 3ил.
Изобретение относится к области формирования покрытий на основе углерода на медных подложках и может быть использовано для получения защитного покрытия на внутренней рабочей поверхности медных анодов мощных генераторных ламп цилиндрической формы и анодных блоков магнетронов. Способ получения покрытия из карбида титана на внутренней поверхности медного анода генераторной лампы включает формирование слоя титана на упомянутой внутренней поверхности медного анода и нанесение слоя карбида титана из металлической плазмы посредством распыления вакуумно-дуговым разрядом титанового катода в среде углеродосодержащего газа, который подают в обрабатываемую полость анода со стороны соосно расположенного распыляемого титанового катода. Слой титана наносят толщиной, не превышающей 1/3…1/4 толщины слоя TiC, и затем проводят отжиг. Создается многокомпонентный слой Cu-(Cu-Ti)-(Ti-TiC), обеспечивающий качество формируемого защитного покрытия тугоплавкого металла TiC и упрощение технологического процесса его получения, а также обеспечиваются возможности формирования покрытия на заданном обрабатываемом участке. 2 ил.
МНОГОКАНАЛЬНЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ СПЕКТРОМЕТР // 2540218
Изобретение относится к области спектрометрии и касается многоканального оптического спектрометра. Спектрометр включает в себя расположенные на круге Роуланда входную спектральную щель, вогнутую дифракционную решетку и многоканальный приемник излучения. Приемник излучения состоит из плоских многоэлементных фотоприемников, установленных в корпусах. Каждый фотоприемник дополнительно снабжен волоконно-оптическим фоконом, плоский торец которого со стороны монтажа на поверхность многоэлементного фотоприемника имеет размеры по ширине больше ширины многоэлементного фотоприемника, а по длине меньше длины многоэлементного фотоприемника. Торец фокона со стороны входа оптического излучения имеет размеры по длине больше длины корпуса многоэлементного фотоприемника. Входные торцы смонтированных на фотоприемниках фоконов располагаются на круге Роуланда, а края фоконов соседних фотоприемников соприкасаются. Технический результат заключается в повышении достоверности показаний спектрометра. 2 ил.
