Патенты автора Квашнин Геннадий Михайлович (RU)
СВЧ акустический масс-сенсор // 2723956
Изобретение относится к акустическим волновым сенсорам, в частности к гравиметрическим сенсорам, и является основой для создания высокочувствительных датчиков параметров вещества, осаждаемого на поверхность. Техническим результатом является создание высокочувствительного сенсора массы, толщины и других физико-механических параметров пленок вещества. Изобретение представляет собой масс-сенсор, выполненный на основе СВЧ многочастотного резонатора на объемных акустических волнах в виде слоистой компланарной структуры, который содержит источник акустических колебаний, включающий в себя верхний металлический электрод, пьезоэлектрический слой и нижний металлический электрод, и звукопровод из синтетического монокристалла алмаза IIa типа. При этом источник акустических колебаний был выполнен на одной из поверхностей звукопровода, а сенсорная зона располагалась на противоположной свободной поверхности звукопровода. 1 з.п. ф-лы, 4 ил.
Изобретение относится к СВЧ электроакустике и является основой для создания стабилизированных генераторов сетки частот, узкополосных фильтров, высокочувствительных сенсоров и других СВЧ частотозадающих элементов для средств связи, автоматики и радиолокации. Технический результат - обеспечение высокой стабильности частоты генерации и минимального значения фазовых шумов в широком частотном диапазоне. Многочастотный резонатор на объемных акустических волнах содержит звукопровод и источник акустических колебаний, который включает в себя пьезоэлектрик, верхний и нижний металлические электроды , при этом источник акустических колебаний размещен на одной из поверхностей звукопровода, звукопровод выполнен из ориентированного монокристалла алмаза с кристаллографическими плоскостями срезов(100), или (110), или (111), соответствующих направлениям распространения чистых продольных мод. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.
