Патенты автора МОРО Морис (FR)
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО УСТРАНЕНИЯ ЗАЛИПАНИЯ ЭЛЕКТРОДОВ В ИНЕРЦИАЛЬНЫХ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ // 2542590
Изобретение относится к области инерциальных микроэлектромеханических систем, используемых в качестве датчиков перегрузок, таких как, например, акселерометры или гироскопы. Способ устранения залипания электродов в инерциальном микроэлектромеханическом устройстве, содержащем: подвижную массу (150), подвешенную на каркасе с помощью пружинного устройства (115) и содержащую по меньшей мере один подвижный электрод; неподвижный электрод, жестко прикрепленный к каркасу, причем неподвижный электрод взаимодействует с подвижным электродом, в результате чего формируется пара электродов. Причем способ включает обнаружение пары залипших электродов, для которых слипание характеризуется силой прилипания (Fs), и стадию разделения, включающую подачу в течение заданного интервала времени заданного напряжения между электродами пары электродов для создания электростатической силы, которая обеспечивает смещение подвижной массы в направлении действия силы прилипания. 3 н. и 2 з.п. ф-лы, 4 ил.
